检查装置及检查方法、液滴喷出装置及液滴喷出方法、设备及电子仪器

发明专利无效专利

申请号：
CN200310102556.3
IPC分类号：--
申请日期：
2003-10-23
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	检查装置及检查方法、液滴喷出装置及液滴喷出方法、设备及电子仪器
申请号	CN200310102556.3	申请日期	2003-10-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-05-26	公开/公告号	CN1498754
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	神山信明;高桥隼人
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	李香兰

摘要

一种检查装置(30)包括射出检测光的投光部分(31)，检测光被照射的接受光部分(32)，相对于检测光的光路，在交叉方向上移动喷头(1)的移动装置(4)。这样，设定D：上述检测光的光束直径，d：上述液滴的直径，L：在上述喷头移动方向上，喷嘴彼此间的间距，H：喷嘴喷出1个液滴后，直到喷出下1个液滴为止喷头移动的距离时满足D/2+d/2≤L，且，H≤D的条件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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