聚焦离子束显微镜样品台及其使用方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200610118716.7
IPC分类号：G01N23/18;G01N13/10;H01J37/26;H01L21/66
申请日期：
2006-11-24
申请人：
上海华虹NEC电子有限公司

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著录项信息

专利名称	聚焦离子束显微镜样品台及其使用方法
申请号	CN200610118716.7	申请日期	2006-11-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-06-04	公开/公告号	CN101191776
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N23/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N23/00 利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如X射线、（或中子，未包括在G01N3/00至G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00）〔1，2006.01〕 G01N23/02 通过使辐射透过材料 G01N23/06 并测量吸收〔1，2006.01，2018.01〕 G01N23/095 伽马射线共振吸收，例如使用Mössbauer效应〔2018.01〕 G01N23/18 测试缺陷或杂质存在〔1，3，5，2006.01，2018.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;3;/;1;8;;;G;0;1;N;1;3;/;1;0;;;H;0;1;J;3;7;/;2;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	上海华虹NEC电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司	当前权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司
发明人	裘莺
代理机构	上海浦一知识产权代理有限公司	代理人	顾继光

摘要

本发明公开了一种聚焦离子束显微镜样品台，所述样品台边缘刻有一凹槽，以该凹槽为原点设有平面坐标轴，在样品台表面沿该坐标轴的X、Y方向分别刻有若干条间隔一致的细槽线，形成数十个大小相等的正方形，并在正方形内标有标识符，所述正方形中央设有便于外接显示器确定该正方形位置的小孔。本发明还公开了该样品台的使用方法。本发明的聚焦离子束显微镜样品台能进行高效、简便地定位操作，节省工作时间，提高工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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