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一种无铜环保镜合金溅射专用靶材

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120347617.2
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2011-09-16
申请人：
河南金林玻璃有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种无铜环保镜合金溅射专用靶材
申请号	CN201120347617.2	申请日期	2011-09-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	河南金林玻璃有限公司	申请人地址	河南省洛阳市西工区下沟工业区龙鑫路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河南金林玻璃有限公司	当前权利人	河南金林玻璃有限公司
发明人	林百涛
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种无铜环保镜合金溅射专用靶材，它涉及一种靶材。它包含靶材本体，它还包含抗氧化层，抗氧化层包裹在靶材本体的外侧，抗氧化层是由硅元素、铁元素、铜元素、镍元素、镁元素、铬元素、锌元素、钛元素混合制备而成，能够提高靶材的抗氧化能力，同时提供镜子反射效果；本实用新型抗氧化能力强，耐释性强，且使镜子的反射效果得到很大的提高。

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