首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

用于原位轮廓测量的涡流系统

发明专利有效专利

申请号：
CN200480028368.3
IPC分类号：H01L21/00;G01B7/00
申请日期：
2004-07-27
申请人：
应用材料公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于原位轮廓测量的涡流系统
申请号	CN200480028368.3	申请日期	2004-07-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-11-08	公开/公告号	CN1860584
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;G;0;1;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	格布里尔·罗里米尔·米勒;博古斯劳·A·司维德克;曼欧彻尔·比郎
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	柳春雷

摘要

一种涡流监视系统可以包括细长形铁心。一个或多个线圈可以与细长形铁心耦合以产生振荡磁场，该振荡磁场可以与晶片上的一个或多个导电区域耦合。铁心可以相对于晶片平移以在保持足够信号强度的同时提供更高的分辨率。一种涡流监视系统可以包括DC耦合的边际振荡器用于以谐振频率产生振荡磁场，其中谐振频率可以随着一个或多个导电区域的改变而改变。涡流监视系统可以用于实现实时轮廓控制。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供