液动力旋流冷却感应加热真空炉体

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922357654.0
IPC分类号：C30B29/06;C30B15/00
申请日期：
2019-12-25
申请人：
南京晶升能源设备有限公司

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著录项信息

专利名称	液动力旋流冷却感应加热真空炉体
申请号	CN201922357654.0	申请日期	2019-12-25
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	南京晶升能源设备有限公司	申请人地址	江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京晶升装备股份有限公司	当前权利人	南京晶升装备股份有限公司
发明人	李辉;叶迎海;毛瑞川
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	张弛

摘要

本实用新型公开了一种液动力旋流冷却感应加热真空炉体，包括内筒、外筒、位于内筒中的热场、上管帽、下管帽；下管帽中，下腔室的内壁内开设有若干下斜切孔，下斜切孔连通下腔室及夹层空间；下管帽还设有与下腔室连通的进液口；上管帽中，上腔室的内壁内开设有若干上斜切孔，该若干上斜切孔围绕上腔室的内壁设置，上斜切孔连通上腔室及夹层空间；上管帽还设有与上腔室连通的出液口。通过设置下斜切孔将冷却液以螺旋方式注入夹层空间，使冷却液在夹层空间内以螺旋状上升形成旋流，使冷却液能够将内筒的热量进行均匀吸热，通过上斜切孔，使冷却液自夹层空间向上腔室螺旋状的排出方式，进而使得内筒内的热场外表圆周方向温度更为均匀，为晶体生长提供更为优越的环境。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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