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抗高过载的压电加速度传感器及其制作方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410534975.2
  • IPC分类号:G01P15/09
  • 申请日期:
    2014-10-13
  • 申请人:
    上海天英微系统科技有限公司
著录项信息
专利名称抗高过载的压电加速度传感器及其制作方法
申请号CN201410534975.2申请日期2014-10-13
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2015-01-14公开/公告号CN104280568A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P15/09IPC分类号G;0;1;P;1;5;/;0;9查看分类表>
申请人上海天英微系统科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科园区郭守敬路351号2号楼A635-15室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海天英微系统科技有限公司当前权利人上海天英微系统科技有限公司
发明人李祥明;李忠平
代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)代理人孙佳胤;高翠花
摘要
本发明提供一种抗高过载的压电加速度传感器及其制作方法,所述压电加速度传感器包括支撑层及压电层,所述压电层朝向所述支撑层的一侧制作沟槽,以形成朝向支撑层的支撑块及质量块,所述支撑块用于与所述支撑层连接,以将所述压电层固定,所述支撑块与所述质量块之间通过一悬臂梁连接,所述质量块将加速度信号传递给所述悬臂梁,以使所述悬臂梁产生形变,所述悬臂梁的上下两侧设置有上电极及下电极,以将所述悬臂梁形变产生的电信号传递给外部测量装置。本发明的优点在于,能够提高压电加速度传感器的抗高过载性能。

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