- G物理
- G0仪器
- G03摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
- G03F图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备(照相排版装置入B41B;为摄影用的感光材料或处理入G03C;电记录、感光层或处理入G03G)
- G03F7/00图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备(用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置,例如,B44C,H01L,例如,H01L 21/00,H05K)〔3,5〕
- G03F7/26感光材料的处理及其设备(G03F 7/12至G03F 7/24优先)〔3,5〕
- G03F7/40去除影像之后的处理,例如,烘干〔5〕