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同轴对准信号采集和处理控制方法及其关键子系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510112114.6
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00
  • 申请日期:
    2006-03-28
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称同轴对准信号采集和处理控制方法及其关键子系统
申请号CN200510112114.6申请日期2006-03-28
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2006-07-26公开/公告号CN1808277
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人周畅;韦学志;李焕炀;谢坚
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人王洁
摘要
本发明公开了一种同轴对准信号采集和处理控制方法及其关键子系统,通过多个控制模块之间的协调,实现了脉冲激光产生与光强信号采集的同步控制;光强信号采集与位置信号采集的同步控制;对准信号处理与硅片台扫描运动的同步控制;对连续对准扫描机制的支持,其关键子系统中通过光纤使微弱光信号可靠传输到光探测控制单元进行预处理及采样;通过并行光强数据总线可将光强数据高效传输到信号处理单元。

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