利用微影制程制作喷墨式打印头的喷孔片的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02107313.9
IPC分类号：--
申请日期：
2002-03-14
申请人：
飞赫科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	利用微影制程制作喷墨式打印头的喷孔片的方法
申请号	CN02107313.9	申请日期	2002-03-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2003-10-01	公开/公告号	CN1445091
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	飞赫科技股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	飞赫科技股份有限公司	当前权利人	飞赫科技股份有限公司
发明人	林刘恭;黄怡仁
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	陈红;潘培坤

摘要

一种采用微影制程制作喷孔片的方法，是直接在硅基底上进行压膜、曝光、显影等步骤，可以有效控制喷孔的位置、口径、形状，进而获得高分辨率的喷墨品质。第一种方式是对薄膜进行两道曝光步骤以形成阶梯层的未曝光区域，再对阶梯层的未曝光区域进行一道显影步骤。第二种方式是对薄膜采用两次曝光、两次显影的方式。第三种方式是先对第一薄膜进行曝光，再沉积不同材质的第二薄膜，然后对第一薄膜进行背部显影，接着对第二薄膜进行曝光与显影制程。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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