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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

配置用于处理多种尺寸的组件板的处理件

发明公开有效专利
  • 申请号:
    CN201210148912.4
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2012-05-14
  • 申请人:
    联达科技设备私人有限公司
著录项信息
专利名称配置用于处理多种尺寸的组件板的处理件
申请号CN201210148912.4申请日期2012-05-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-11-14公开/公告号CN102779776A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人联达科技设备私人有限公司申请人地址
新加坡加冷盆地工业园区加冷大道04-01号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人联达科技设备私人有限公司当前权利人联达科技设备私人有限公司
发明人金剑平; 王利光
代理机构上海光华专利事务所代理人余明伟; 王玮
摘要
一种组件板处理设备,配置以处理、装载、抓取、支撑、撷取、及/或转移例如多种不同尺寸的晶圆或基材架或太阳能电池板(“组件板”)。该组件板处理设备包括至少一组件板抓取组件,可在一些不同位置之间移位,每一位置对应特定组件板尺寸。因此,该至少一组件板抓取组件可安置到不同位置,以容许对应尺寸的组件板的处理、装载、抓取、支撑、撷取、及/或转移。该组件板处理设备也包括位置对准机构,配置以控制及/或实现该至少一组件板抓取组件至不同位置的移动。该组件板处理设备也可包括至少一移动手臂,耦接于该至少一组件板抓取组件。藉由该至少一移动手臂的至少一个部分的移动、旋转、及/或平移来实现该至少一组件板抓取组件的移动。本发明亦包括一种用于处理多种尺寸的组件板(例如晶圆或基材架或太阳能电池板)的方法。

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