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一种短温区垂直移动炉以及利用其生长CdTe晶体的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201611156546.1
  • IPC分类号:C30B29/48;C30B11/00
  • 申请日期:
    2016-12-14
  • 申请人:
    中国科学院宁波材料技术与工程研究所
著录项信息
专利名称一种短温区垂直移动炉以及利用其生长CdTe晶体的方法
申请号CN201611156546.1申请日期2016-12-14
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-05-31公开/公告号CN106757369A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C30B29/48IPC分类号C;3;0;B;2;9;/;4;8;;;C;3;0;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请人地址
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院宁波材料技术与工程研究所当前权利人中国科学院宁波材料技术与工程研究所
发明人胡皓阳;金敏;徐静涛;刘柱;蒋俊;江浩川
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司代理人单英
摘要
本发明提供了一种短温区垂直移动炉。该加热炉仅采用铁铬铝电热丝与热电偶一套控制系统,因此炉体结构简单、造价低廉;而且,加热区的垂直高度易于控制,形成短温区加热炉;并且,由于炉体上下开口,在空气的对流作用下,加热区在垂直方向的温度分布呈中间向上下两侧逐渐降低的趋势,有利于减小熔区长度,增加原料区熔提纯效果,降低晶体内部杂质含量。另外,该加热炉支撑石英坩埚的支座选用碳化硅材料,利用碳化硅的高热导率极大促进了晶体生长界面结晶潜热的释放,从而获得有利于单晶生长的微凸固液界面。利用该加热炉生长CdTe晶体有利于消除Te沉淀、夹杂和孪晶等缺陷,提高了CdTe单晶利用率。

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