形状测量设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201210113003.7
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2012-04-17
申请人：
株式会社三丰

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	形状测量设备
申请号	CN201210113003.7	申请日期	2012-04-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-24	公开/公告号	CN102749039A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	株式会社三丰	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社三丰	当前权利人	株式会社三丰
发明人	根本贤太郎;山县正意;岩本正;町田信美
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	邸万奎

摘要

本发明公开了一种形状测量设备，包括：光照射单元，其将线状光照射到工件上；成像元件，其使由所述工件反射的反射光成像；以及成像透镜，其将由所述工件反射的反射光的像形成在所述成像元件的成像平面上，并且，所述光照射单元的光照射平面、包括所述成像透镜的主点的主平面、以及所述成像元件的成像平面满足沙姆普弗鲁克原理。所述形状测量设备还包括：像获取区域选择单元，其将所述成像元件的成像平面划分为多个区域，并响应于测量精度和测量范围的大小中的至少一个，从所述多个区域中选择用于在测量中使用的区域作为像获取区域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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