冷却带电粒子束系统的物镜的系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201980078686.7
IPC分类号：H01J37/141;B33Y80/00
申请日期：
2019-11-12
申请人：
ASML荷兰有限公司

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著录项信息

专利名称	冷却带电粒子束系统的物镜的系统和方法
申请号	CN201980078686.7	申请日期	2019-11-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-23	公开/公告号	CN113169007A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/141 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/10 透镜 H01J37/14 磁的 H01J37/141 电磁透镜〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;1;4;1;;;B;3;3;Y;8;0;/;0;0查看分类表>
申请人	ASML荷兰有限公司	申请人地址	荷兰维德霍温变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASML荷兰有限公司	当前权利人	ASML荷兰有限公司
发明人	J·G·戈森;S·A·J·霍尔;M·P·C·范赫尤门;D·H·C·范班宁;N·霍塞尼
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	郑振

摘要

公开了用于冷却带电粒子束系统的物镜的系统和方法。根据某些实施例，用于冷却带电粒子束系统的物镜的方法包括经由线轴的流体输入端口接收流体，经由分布在该线轴中的多个通道循环吸收了由该物镜的多个电磁线圈所生成的热量的流体，并且经由该线轴的流体输出端口分配由该多个通道所循环的流体。该线轴可以进一步包括接近于晶片的底部凸缘以及远离该晶片的顶部凸缘。具有多个通道的该线轴可以包括增材制造的单片结构。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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