基于低频差声光移频器移相的外差点衍射干涉仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201410514491.1
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2014-09-29
申请人：
中国科学院光电研究院

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著录项信息

专利名称	基于低频差声光移频器移相的外差点衍射干涉仪
申请号	CN201410514491.1	申请日期	2014-09-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-01-21	公开/公告号	CN104296676A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	中国科学院光电研究院	申请人地址	北京市海淀区中关村东路95号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电研究院	当前权利人	中国科学院光电研究院
发明人	相里斌;张文喜;李杨;伍洲;孔新新;吕笑宇;周志盛
代理机构	北京凯特来知识产权代理有限公司	代理人	郑立明;郑哲

摘要

本发明公开了一种基于低频差声光移频器移相的外差点衍射干涉仪，包括光束调整单元、低频差移相单元、点衍射单元以及面阵探测器单元：光束调整单元，用于将激光器的出射激光调整为功率相同的两束激光；低频差移相单元，用于对光束调整单元得到的两束激光的频率进行调整以得到两束激光的输出差频为100赫兹以下的低差频；点衍射单元，用于将低频差移相单元调整后的激光分为测量光和参考光以产生干涉；面阵探测器单元，用于采集干涉。采用声光移频器外差干涉移相，有效避免干涉仪存在运动件，测量精度提高，抗干扰性好，低频差外差干涉与面阵探测器连续采集，获得的信息量更丰富利于精确解算相位及克服噪声影响。

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