一种晶圆氧化用高温扩散炉管

发明专利有效专利

申请号：
CN201610247599.8
IPC分类号：C30B31/16
申请日期：
2016-04-19
申请人：
温州巨亮光伏科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆氧化用高温扩散炉管
申请号	CN201610247599.8	申请日期	2016-04-19
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2016-07-06	公开/公告号	CN105734675A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B31/16 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置〔3，5〕 C30B31/06 同气态扩散材料接触的（C30B 31/18优先）〔3〕 C30B31/16 气体供给或排出的装置；气流的变换〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;1;/;1;6查看分类表>
申请人	温州巨亮光伏科技有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市南湖区浙江清华长三角研究院B座15层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江清华柔性电子技术研究院	当前权利人	浙江清华柔性电子技术研究院
发明人	蔡伦
代理机构	上海翼胜专利商标事务所（普通合伙）	代理人	翟羽

摘要

本发明公开了一种晶圆氧化用高温扩散炉管，包括炉管本体，炉管本体内具有内腔，在炉管本体的一端设有第一进气口，第一进气口上设有第一匀气装置，第一匀气装置连接外部的第一进气管，在炉管本体的另一端设有第二进气口，第二进气口上设有第二匀气装置，第二匀气装置连接外部的第二进气管，且第一进气口设置在炉管本体一侧的上端，第二进气口设置在炉管本体另一侧的下端，在炉管本体的下端设有尾气排放口，尾气排放口设有过滤装置，过滤装置连接外部的尾气管道，本发明采用非对称设置的两个进气口，且均在进气口处安装匀气装置，能够进一步过滤进入内腔的气体，同时能够保证气体的均匀性，提高晶圆氧化的均匀性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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