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蒸发源和采用该蒸发源的蒸镀装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510092373.7
  • IPC分类号:C23C14/26
  • 申请日期:
    2005-08-29
  • 申请人:
    三星SDI株式会社
著录项信息
专利名称蒸发源和采用该蒸发源的蒸镀装置
申请号CN200510092373.7申请日期2005-08-29
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2006-08-09公开/公告号CN1814854
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/26IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;6查看分类表>
申请人三星SDI株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星显示有限公司当前权利人三星显示有限公司
发明人金度根;许明洙;郑锡宪;康熙哲;古野和雄
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人李贵亮;杨梧
摘要
一种蒸发源和蒸镀装置,该蒸发源将坩埚和加热部以及喷嘴部配置在一个划分空间,缩小其尺寸;所述蒸镀装置利用所述蒸发源将蒸镀物质蒸镀在基板上。所述蒸发源包括:壳体(110);内设于所述壳体(110)内的坩埚(120);内设于所述壳体(110)中,用于加热坩埚(120)而设于其周边的加热部;喷嘴部,经由喷射嘴(140)将从所述坩埚(120)蒸发的蒸镀物质喷射到位于壳体(110)外部的基板(220)上。

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