含芳香酸抑制剂的光致抗蚀剂剥离剂/清洁剂组合物

发明专利无效专利

申请号：
CN01816265.7
IPC分类号：--
申请日期：
2001-09-18
申请人：
阿什兰公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	含芳香酸抑制剂的光致抗蚀剂剥离剂/清洁剂组合物
申请号	CN01816265.7	申请日期	2001-09-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-01-07	公开/公告号	CN1466708
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	阿什兰公司	申请人地址	美国宾西法尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	气体产品及化学制品公司	当前权利人	气体产品及化学制品公司
发明人	达里尔·W·彼得斯;小弗洛伊德·L·里德尔
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	过晓东

摘要

一种在半导体和微电路制造中从金属和电介质表面除去残留物的剥离和清洁组合物。该组合物是包括有机极性溶剂的含水系统，所述有机溶剂包含以有效抑制量使用的选自芳香羧酸组中的腐蚀抑制剂组分。根据本发明的从金属和电介质表面除去残留物的方法包括将金属或电介质表面与上述抑制组合物接触足够的一段时间以除去残留物的步骤。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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