一种管道传输连续式真空镀膜生产线结构及其生产方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110996253.9
IPC分类号：C23C14/56
申请日期：
2021-08-27
申请人：
森科五金（深圳）有限公司;沈阳爱科斯科技有限公司

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专利名称	一种管道传输连续式真空镀膜生产线结构及其生产方法
申请号	CN202110996253.9	申请日期	2021-08-27
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-12	公开/公告号	CN113637951A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人	森科五金（深圳）有限公司;沈阳爱科斯科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市光明新区公明街道上村社区石观工业园A型厂房1栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	森科五金（深圳）有限公司,沈阳爱科斯科技有限公司	当前权利人	森科五金（深圳）有限公司,沈阳爱科斯科技有限公司
发明人	汪友林
代理机构	深圳市神州联合知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种管道传输连续式真空镀膜生产线结构，具体涉及真空镀膜设备技术领域；该生产线结构包括有工件架以及加工组件；加工组件中至少一个具有内部加工空间，用于对待加工工件进行镀膜加工的加工管；以及，至少一个用于隔绝或连通不同的空间的隔离阀；多个加工管依序排列，隔离阀设置在相邻的加工管之间，相邻的加工管通过隔离阀连接后，其内部加工空间连通形成容工件架传送的通道。本发明还提供一种管道传输连续式真空镀膜生产方法，与现有技术相比，本发明提供生产线结构具有结构灵活、一致性好、自动化程度高、可控性强等优点，本发明提供的生产方法具有拓展性好、操作方便、镀膜效率高、装置利用率高等有益效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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