着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、红外光截止滤色器以及固体成像元件

发明专利有效专利

申请号：
CN202011463178.1
IPC分类号：G03F7/029;G03F7/031;G03F7/038;G03F7/105;H01L27/146;H01L31/0232;G02F1/1335;G02B5/22;G02B5/20
申请日期：
2016-02-25
申请人：
富士胶片株式会社

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著录项信息

专利名称	着色感光性组合物、固化膜、图案形成方法、红外光截止滤色器以及固体成像元件
申请号	CN202011463178.1	申请日期	2016-02-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-26	公开/公告号	CN112558413A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/029 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/027 具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物（G03F 7/075优先）〔5〕 G03F7/028 含有增光敏物质的，例如，感光刺激剂〔5〕 G03F7/029 无机化合物；类化合物；含杂原子而不含氧、氮、硫原子的有机化合物〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;2;9;;;G;0;3;F;7;/;0;3;1;;;G;0;3;F;7;/;0;3;8;;;G;0;3;F;7;/;1;0;5;;;H;0;1;L;2;7;/;1;4;6;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;2;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;5;;;G;0;2;B;5;/;2;2;;;G;0;2;B;5;/;2;0查看分类表>
申请人	富士胶片株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶片株式会社	当前权利人	富士胶片株式会社
发明人	高桥和敬;浜田大辅;北岛峻辅;京田浩和;青柳薰;吉林光司
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	朱丹

摘要

本发明提供一种着色感光性组合物，其能够密合性良好地形成对波长365nm的光的透射率较低的膜。并且，提供使用着色感光性组合物的固化膜、图案形成方法、带遮光膜的红外光截止滤色器、固体成像元件、图像显示装置及红外传感器。所述着色感光性组合物，包含含氟原子的肟酯系光聚合引发剂、具有烯属不饱和双键的聚合性化合物、碱可溶性树脂、及着色剂，其中，所述着色剂为黑色颜料，所述含氟原子的肟酯系光聚合引发剂含有选自具有氟原子的烷基、及包含具有氟原子的烷基的基团的至少1种，使用着色感光性组合物制成干燥后的膜厚为2.0μm的膜时，膜在波长365nm中的光学浓度为1.5以上。

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