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对应于基板伸缩的印刷电路板用曝光装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410091243.7
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00;H05K3/06
  • 申请日期:
    2004-11-17
  • 申请人:
    株式会社阿迪泰克工程
著录项信息
专利名称对应于基板伸缩的印刷电路板用曝光装置
申请号CN200410091243.7申请日期2004-11-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-05-25公开/公告号CN1619421
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;H;0;5;K;3;/;0;6查看分类表>
申请人株式会社阿迪泰克工程申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社阿迪泰克工程当前权利人株式会社阿迪泰克工程
发明人井田良一
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李辉
摘要
一种印刷电路板用曝光装置,可抑制因基板的伸缩造成的图形偏移的影响,从而可制造出高精度、高密度的印刷电路板。呈连续胶片状的光掩模胶片(1)被卷在光掩模辊(10、10)上,通过辊(11、11)的滚动而位于载物台(4)上的基板(50)上。其上面描绘有多个具有按照设计值尺寸做成的曝光图形的标准光掩模(15),和具有相对于该标准图形在尺寸上存在微小差异的图形的光掩模(15’)。控制装置(3)根据CCD照相机(2)拍摄的基板标记(51)的图像信号计算出伸缩量,并根据该计算结果驱动控制光掩模辊(10),进行旋转或停止等控制,把光掩模(1)中的具有最合适的尺寸的曝光图形的光掩模(15)移动到基板(50)上。

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