涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202011594238.3
IPC分类号：B05C5/00;B05C5/02;B05C11/00
申请日期：
2020-12-29
申请人：
艾美柯技术株式会社

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著录项信息

专利名称	涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统
申请号	CN202011594238.3	申请日期	2020-12-29
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-13	公开/公告号	CN113102168A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C5/00 将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置（B05C 7/00，B05C 19/00优先）	IPC分类号	B;0;5;C;5;/;0;0;;;B;0;5;C;5;/;0;2;;;B;0;5;C;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	艾美柯技术株式会社	申请人地址	日本茨城县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	艾美柯技术株式会社	当前权利人	艾美柯技术株式会社
发明人	白石崇;川隅幸宏;大平直树;村井敏信
代理机构	中国贸促会专利商标事务所有限公司	代理人	李今子

摘要

本发明提供涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统。适当地管理涂敷头的状态。涂敷装置(11)具备：保持台(21)，保持基板(70)；涂敷部(涂敷头部件(22))，向保持于保持台的基板涂敷涂敷材料；以及控制部(50)，进行控制使得通过使基板和涂敷部相对地移动来向基板的预定区域涂敷涂敷材料。在涂敷部装卸自如地安装有用于向基板涂敷涂敷材料的涂敷头(31)。涂敷头具有存储部(33)，该存储部(33)包括存储涂敷头的固有信息的第1存储区域、和存储涂敷头的来历信息的第2存储区域。控制部从第1存储区域读取固有信息，并且根据涂敷头的涂敷动作，将来历信息储存到第2存储区域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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