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具有垂直沟道晶体管的半导体器件的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810215660.6
  • IPC分类号:H01L21/8242;H01L21/768
  • 申请日期:
    2008-09-08
  • 申请人:
    海力士半导体有限公司
著录项信息
专利名称具有垂直沟道晶体管的半导体器件的制造方法
申请号CN200810215660.6申请日期2008-09-08
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-07-01公开/公告号CN101471304
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8242
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;8查看分类表>
申请人海力士半导体有限公司申请人地址
韩国京畿道利川市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人海力士半导体有限公司当前权利人海力士半导体有限公司
发明人曹祥薰
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人刘继富;顾晋伟
摘要
本发明提供一种用于制造具有垂直沟道晶体管的半导体存贮器件的方法,其包括在衬底上形成各自在其上具有硬掩模图案的多个柱状物,多个柱状物中的每一个均包括上部柱状物和下部柱状物;形成环绕下部柱状物的环绕型栅电极;形成填充柱状物之间的间隔的绝缘层;通过使用用于字线的掩模图案首先蚀刻绝缘层直至暴露出上部柱状物的一部分,从而形成初始沟槽;在包括初始沟槽的所得结构上(除了在初始沟槽的底部上之外)形成缓冲层;和通过二次蚀刻绝缘层直至暴露出环绕型栅电极,从而形成用于字线的沟槽。

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