双频共焦台阶高度显微测量装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02120884.0
IPC分类号：--
申请日期：
2002-06-07
申请人：
清华大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	双频共焦台阶高度显微测量装置
申请号	CN02120884.0	申请日期	2002-06-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-12-11	公开/公告号	CN1384334
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华园清*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	殷纯永;林德教;柳忠尧;张蕊;徐毅
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所	代理人	廖元秋

摘要

本发明属于表面形貌测量技术领域，涉及双频共焦台阶高度显微测量装置，包括横向塞曼激光器，依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜；放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波片和四面体棱镜，放置在该偏振分光镜透射光路上的1/4波片、显微物镜；还包括第二块分光镜，分别放置在该分光镜的反射光路上的格兰棱镜、会聚透镜、第二针孔和光电探测器，在其透射光路上的会聚透镜和光电探测器。本发明融合了双频激光干涉和扫描共焦显微技术以期提高分辨率和量程，同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求，并具有较低的成本，不仅满足微电子技术近期发展的需要，也可以进一步推广应用。