一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN200610011906.9
IPC分类号：G01P15/125;G01C21/16
申请日期：
2006-05-16
申请人：
北京航空航天大学

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著录项信息

专利名称	一种扭摆式硅MEMS角加速度传感器
申请号	CN200610011906.9	申请日期	2006-05-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-11	公开/公告号	CN1844933
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5;;;G;0;1;C;2;1;/;1;6查看分类表>
申请人	北京航空航天大学	申请人地址	北京市海淀区学院路37号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京航空航天大学	当前权利人	北京航空航天大学
发明人	房建成;李建利;张海鹏;张延顺;俞文伯
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	刘秀娟;成金玉

摘要

扭摆式硅MEMS角加速度传感器由敏感元件、电容式变换器、反馈静电力矩器、信号处理电路以及壳体组成，壳体包括真空封装和基座，敏感元件包括两个固连在基座上的锚点、一个活动极板、两个两端分别固连在锚点和活动极板上的挠性支撑梁和两个对称分布在活动极板上表面的质量块，挠性支撑梁位于活动极板的中心线上，在活动极板下面的基座上，埋置两对对称分布的固定极板，一对为电容式变换器的敏感电极，一对为反馈静电力矩器的施力电极，通过导线分别与电容式变换电路和反馈静电力矩器连接，敏感元件敏感角加速度产生绕着挠性梁轴向的角位移，以此检测角加速度。本发明体积小，成本低，可应用于惯性稳定控制系统，角振动测试系统以及惯性导航系统。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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