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具有分散气体的分散板的镀膜装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720310211.0
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2007-12-04
  • 申请人:
    郭铭书;曾盛烘
著录项信息
专利名称具有分散气体的分散板的镀膜装置
申请号CN200720310211.0申请日期2007-12-04
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人郭铭书;曾盛烘申请人地址
台湾省彰化县彰化市民权路176巷7号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人郭铭书,曾盛烘当前权利人郭铭书,曾盛烘
发明人郭铭书
代理机构中国商标专利事务所有限公司代理人万学堂;桑丽茹
摘要
本实用新型是一种具有分散气体的分散板的镀膜装置,该镀膜装置包括一具有一镀膜室的中空状壳体、一具有多数间隔设置于该镀膜室中的电极板的电极单元、一用以将镀膜气体输送进该壳体的镀膜室中的输气管、一具有一与该镀膜室相连通的泵的抽气单元,以及一邻近所述电极板的底面且具有多数相间隔的分流孔的分散板,所述分流孔涵盖该电极板的底面的大部分面积,借由所述分流孔,让镀膜气体可均匀分布于该镀膜室中,以提高镀膜良率、改善整体镀膜效率。

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