曝光机基板对位装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720492503.4
IPC分类号：G03F9/00
申请日期：
2017-05-05
申请人：
东莞市友辉光电科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	曝光机基板对位装置
申请号	CN201720492503.4	申请日期	2017-05-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人	东莞市友辉光电科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市万江区拔蛟窝社区创业路工业区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市友辉光电科技有限公司	当前权利人	东莞市友辉光电科技有限公司
发明人	余燕青
代理机构	东莞市创益专利事务所	代理人	李卫平

摘要

本实用新型涉及显示面板的制作技术领域，尤其是涉及曝光机基板对位装置，该装置具有上料部、初整列部、对位校准部以及连接上料部、初整列部和对位校准部的机械手；初整列部基于靠边整列基板；对位校准部是一个X/Y/θ调节平台，对位校准部上具有围绕校准部中心分布且分区控制的顶针及真空吸气槽。本实用新型通过机械手搬运基板到初整列部，实现对基板四边纠偏调整，以便机械手将基板移到对位校准部上时，基板的中心与对位校准部上的中心基本一致，使基板对角边缘落在对位校准部视野内，控制对位校准部中的X/Y/θ方向电机，实现两个靶标的精准对位，这种对位方法适合多种尺寸的基板对位使用；结构简单，使用及维护简便，符合产业利用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供