摘要：本发明公开了一种MEMS电容式麦克风，包括第一衬底以及通过间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，第一衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；其中，振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；在衬底上位于真空腔一侧的位置设置有与振膜构成电容器结构的下电极，振膜与下电极之间的电场为100‑300V/μm。本发明的麦克风，可以在真空腔内形成高电场而不会造成击穿的问题，大大提高了本发明MEMS麦克风的灵敏度；真空腔可以降低声阻对振膜振动的影响，提高麦克风的信噪比；另外，由于该结构的MEMS麦克风不需要较大容积的背腔，因此可以大大降低MEMS麦克风的整体尺寸，增强了麦克风的可靠性。

摘要：本发明公开了一种差分MEMS电容式麦克风及其制备方法，其中电容式麦克风包括：衬底、背腔、上极板、下极板、中间极板和振动膜，其中，振动膜的边缘固定连接在衬底上，振动膜上设置有至少一个开孔，振动膜的下方为背腔；中间极板位于上极板和下极板之间，上极板与中间极板构成第一电容，下极板与中间极板构成第二电容；中间极板固定连接在振动膜上，用于当振动膜随声音发生振动时改变中间极板的位置以改变第一电容和第二电容的电容值；第一电容和第二电容构成差分电容对，用于以差分方式电连接并进行电信号的采集和处理。

摘要：公开了一种用于麦克风(1)的膜片(2)，包括：第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1…E4，E1’…E4’)。第二部分(A2)设置成在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动，所述移动至少包括沿与所述膜片(2)垂直的移动方向(dm)的平移分量。所述元件(E1…E4，E1’…E4’)配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数，并且配置成实质上沿所述第二部分(A2)的外边界设置。