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CCD摄像机校准对位方法
发明专利有效专利摘要:本发明涉及一种CCD摄像机校准对位方法。该方法使用到对位平台和两个CCD摄像机,校准时标准样品固定于对位平台上,对位平台在水平面上做定量的偏移和旋转,两个CCD摄像机记录每次运动后Mark点所在坐标,通过计算Mark点的变化,得出CCD摄像机的坐标系与对位平台坐标系的转换关系;两个CCD摄像机校准完成之后,即可以利用转换关系对待加工的产品进行对位。本方法在校准时控制对位平台平移、旋转,并使用两个CCD摄像机分别捕捉Mark点的变化,计算得出坐标转换关系;对位时两个CCD摄像机直接捕捉产品Mark点位置坐标,通过一系列计算后得出实际偏差量,然后进行对准;校准与对位的过程均不需要移动CCD摄像机移动,减少了精度损失,提高了校准和对位的精度和速度。
*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供