高Q值大相对变化量电容压力传感器
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高Q值大相对变化量电容压力传感器
发明专利无效专利- 申请号：CN201010548819.3
- 申请人：华中科技大学
- 申请日：2010-11-18
- 主分类号：G01L9/12
- 公开（公告）日：2011-05-11
- 公开/公告号：CN102052989A
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摘要：本发明公开了一种用于无线无源测量的电容压力传感器，由周边固支的弹性振动膜片组成电容器，通过调整圆形电极与振动膜片半径之比、设置绝缘凸点等手段，使振动膜片处于大应变状态，最大电容与初始电容之比尽可能大，从而使电容达到大相对变化量、高Q值的目的。本发明的高Q值和大相对电容变化量的电容压力传感器与声表面波变送器连接后，可以实现对压力的高精度无线无源测量，该传感器可用于汽车轮胎压力监测领域。
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