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高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法

发明专利无效专利

申请号：CN200510027683.0
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日：2005-07-12
主分类号：G01B9/021
公开（公告）日：2005-12-21
公开/公告号：CN1710376

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摘要：一种高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法，包括以下步骤搭建一个马赫-陈德尔干涉仪，并用一CCD探测器拍摄一张带有载波条纹的干涉图样；在该马赫-陈德尔干涉仪的一臂中，插入一块精度为λ/10的位相样板，再拍摄一张被样板调制的载波条纹的干涉图样；将上述两张干涉图样输入到计算机中去，分别进行傅里叶变换，在频域中将零级波和负一级波或正一级波滤掉，然后对留下的正一级波或负一级波进行逆变换，取出干涉图样的位相信息，并将所取出的两个位相信息相减后进行放大；在从位相放大的干涉图中，取出比较平坦的局域部分，再进行位相差放大，即可完成数字干涉仪空间分辨率的标定。

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