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预对准机与机械手相对坐标系的标定方法

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申请号：CN201210441423.8
申请人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日：2012-11-08
主分类号：G01B21/00
公开（公告）日：2014-05-21
公开/公告号：CN103808285A

委托购买

摘要：本发明公开了一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，所述标定方法包括：第一、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系，机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系；第二、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′坐标系径向移动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的姿态；第三、将所述晶圆相对于所述x′o′y′坐标系转动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的位置，即得到所述机械手与所述预对准机的相对位置关系。本发明可实现真空吸附式机械手在真空吸附式预对准机坐标系下的准确定位，从而可有效提高对晶圆的预对准精度及传输精度。

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