青岛赛瑞达电子科技有限公司

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氧化炉(立式炉3)

外观设计有效专利
  • 申请号:CN202130857008.0
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-12-24
  • LOC分类号:23-03
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
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摘要:1.本外观设计产品的名称氧化炉(立式炉3)。2.本外观设计产品的用途用于6‑8吋晶片氧化、扩散工艺。3.本外观设计产品的设计要点在于形状、图案与色彩的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片立体图。5.请求保护的外观设计包含色彩。6.本外观设计产品的仰视图为使用时不容易看到或看不到的部位,省略仰视图。

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一种具有进气和测压功能的双层气管

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110866070.5
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-07-29
  • 主分类号:F16L9/19
  • 公开(公告)日:2021-09-21
  • 公开/公告号:CN113418061A
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摘要:本发明公开了一种具有进气和测压功能的双层气管,包括工艺管,工艺管的尾端设置有排气管,排气管上设置有阀门,工艺管的下部靠近内壁处焊接有外管,工艺管外部的外管端部套接有双层管接头体,双层管接头体的内部夹持有进气管,双层管接头体前后的内圆直径不同,双层管接头体上部设置有压力表座管,压力表座管的上端连接有压力表。一种具有进气和测压功能的双层气管及接头结构可以减少管路数量,合理套装共用同一位置,实现了两种气体套装管路共用一个中心位置或一种气体和压力测量共用一个中心位置,可以减少一半的进气管路的位置需求,解决了位置拥挤排布不开的困难,实现了多气体多流量的进气和压力检测的全部功能,其优良的效果和作用明显。

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一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110802044.6
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-07-15
  • 主分类号:C02F1/04
  • 公开(公告)日:2021-09-03
  • 公开/公告号:CN113336288A
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摘要:本发明公开了一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统,包括供水系统,用于提供定量纯水,和供气系统,用于提供定量携带气,所述供水系统和供气系统通过气水三通与蒸汽管连通,并将纯水和携带气混合形成气水混合物,所述蒸汽管为螺旋状,所述蒸汽管被蒸发加热器环抱,用于给所述蒸汽管提供高温环境,汽化气水混合物。本发明通过螺旋状蒸汽管,3倍延长了蒸汽管在蒸发加热器内部高温区的受热长度,可以让纯水在同样的蒸发加热器长度和温度参数不变的情况下更容易实现进入纯水的全部蒸汽化,汽化的效果更完美;同时螺旋状蒸汽管在保证进入的微量纯水完全汽化的条件下,可以缩短蒸发加热器的长度,更加有利于减小水汽蒸发系统的空间,实现精巧化,小型化。

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一种多气体均匀混气罐

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110801044.4
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-07-15
  • 主分类号:B01F5/06
  • 公开(公告)日:2021-09-10
  • 公开/公告号:CN113368723A
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摘要:本发明公开了一种多气体均匀混气罐,包括混气罐罐体,混气罐罐体内部的中部位置按不同高度设置有第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板,第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板贯穿圆心固定设置有网孔板连接柱,第一混气网孔板和第二混气网孔板之间设置有第一混合腔,第二混气网孔板和第三混气网孔板之间设置有第二混合腔,第三混气网孔板和第四混气网孔板之间设置有第三混合腔。本发明的一种多气体均匀混气罐,就很好的解决了单独进入气体不能在工艺腔室容积中均匀化的问题,使得各种气体在经过流量计精确控制所需进入的流量后,各个气体不单独进入工艺腔室。

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一种带水汽蒸发系统的工艺腔室

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110799500.6
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-07-15
  • 主分类号:H01L21/67
  • 公开(公告)日:2021-09-10
  • 公开/公告号:CN113380677A
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摘要:本发明公开了一种带水汽蒸发系统的工艺腔室,包括架体,架体上安装有加热器,加热器的内侧安装有工艺管,工艺管安装在加热器之间,且为非接触式固定安装,工艺管的管口处设置有工艺管密封法兰压紧工艺管密封圈,在管口的外侧设置有摆动炉门,工艺管下端的内壁上设置有工艺进气管,所述工艺进气管的一端连接有进气阀,所述进气阀的另一端通过连接管连接有水汽蒸发系统本发明的有益效果是,在正常硼扩散工艺后通入水汽,进入工艺腔室的水汽对原有工艺腔室内部残存的化学物质进行水汽中和,避免工艺腔室内部和管口产生存留物质,黏附炉门和工艺腔室内不干净的作用,延长工艺腔室拆卸清洗周期,提高设备利用率,提高产能,减少工艺管拆换工作量。

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一种管接头内带限流垫片的工艺系统

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110802005.6
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-07-15
  • 主分类号:F16L19/02
  • 公开(公告)日:2021-09-07
  • 公开/公告号:CN113357451A
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摘要:本发明公开了一种管接头内带限流垫片的工艺系统,包括气液供管,气液供管的一端套接于流量计的一端,流量计的另一端套接于连接管的一端,所述连接管的一端卡接在管接头一端的内部,所述管接头的另一端卡接有工艺腔室连接管,所述工艺腔室连接管的另一端连接在工艺腔室上。应用于半导体和光伏领域扩散炉,氧化炉等管式设备,对流量非常小的气体或液体更精确输送的办法和结构,很好的解决了微小流量的气体或液体输送时出现不连续的情况,使得微小流量的供气或供液通过限流垫片的微小孔时可以实现穿过小孔的过程中具有的增压作用,形成带有一定压力进行微小流量的连续供气和供液或喷淋状供气和供液,其优良的效果和作用明显,值得推广应用。

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一种扩散炉顶部集热冷却排风装置

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110801045.9
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-07-15
  • 主分类号:F27D9/00
  • 公开(公告)日:2021-09-10
  • 公开/公告号:CN113375469A
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摘要:本发明公开了一种扩散炉顶部集热冷却排风装置,包括架体,所述架体侧面外部设置有护板封闭,所述架体内部上下分布有多个工位的加热器,所述架体的顶部设置有一组翅片双冷凝器组,所述翅片双冷凝器组安装在冷凝器安装板上,所述冷凝器安装板承托着所述翅片双冷凝器组,翅片双冷凝器组的上部平面靠紧机架顶板。本发明的有益效果是,本发明一种扩散炉顶部集熱冷却排风装置,规划了架体内部空间的进风和循环通道和经过冷凝器冷却后再排出热风的方式,解决了设备内部温度过高的所有问题。

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一种LPCVD多晶炉工艺炉膛

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110441521.0
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-04-23
  • 主分类号:C30B28/14
  • 公开(公告)日:2021-06-18
  • 公开/公告号:CN112981527A
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摘要:本发明公开了一种LPCVD多晶炉工艺炉膛,包括机架,所述机架用于支撑加热器和管口法兰,所述管口法兰固装有工艺管,所述工艺管内部可滑动放置的晶舟,用于承载需进行工艺的晶片,所述工艺管内壁顶部安装有可拆卸的沉积板;由于沉积掉落是在晶片的顶部区域,则顶部区域的左右分别设置一个滑道板,滑道板之间的顶部圆弧区域设置可抽插的可拆卸的沉积板,定期抽出清洗或更换即可,这样就可以有效延长工艺管的更换时间,不浪费机台有效的工作时间,明显的增大产能和最有效的减少操作者的工作量。

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一种LPCVD多晶炉工艺炉膛

实用新型有效专利
  • 申请号:CN202120846073.8
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-04-23
  • 主分类号:C30B28/14
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
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摘要:本实用新型公开了一种LPCVD多晶炉工艺炉膛,包括机架,所述机架用于支撑加热器和管口法兰,所述管口法兰固装有工艺管,所述工艺管内部可滑动放置的晶舟,用于承载需进行工艺的晶片,所述工艺管内壁顶部安装有可拆卸的沉积板;由于沉积掉落是在晶片的顶部区域,则顶部区域的左右分别设置一个滑道板,滑道板之间的顶部圆弧区域设置可抽插的可拆卸的沉积板,定期抽出清洗或更换即可,这样就可以有效延长工艺管的更换时间,不浪费机台有效的工作时间,明显的增大产能和最有效的减少操作者的工作量。

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一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110440991.5
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-04-23
  • 主分类号:H01L31/18
  • 公开(公告)日:2021-08-03
  • 公开/公告号:CN113206170A
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摘要:本发明公开了一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法将晶舟和晶片送人工艺管内,晶舟被移送到工艺管水平的工作区域后,利用桨的升降功能让桨下降到一定高度,将晶舟和晶片放入工艺管内由晶舟舟腿支撑到工艺管底部圆弧处,此时桨继续下降一个小距离,桨与晶舟的支撑面脱离开,此时为桨的低位(同样不与工艺管底部接触)属于空桨悬空状态,此时,桨水平移动,退出工艺管,关闭炉门,此时只有晶舟和晶片在工艺管中接受整个工艺温度和气体流动或者真空等工艺环节,此时桨不在工艺管内部承托晶舟和晶片一同参与晶片的工艺过程,也就没有了原有状态的桨这个物件干扰晶片工艺过程。

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一种工艺管内带真空隔热功能的双层进气管

发明专利有效专利
  • 申请号:CN202110441490.9
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2021-04-23
  • 主分类号:H01L21/67
  • 公开(公告)日:2021-07-23
  • 公开/公告号:CN113161267A
委托购买

摘要:本发明公开了一种工艺管内带真空隔热功能的双层进气管,其特征在于,包括架体,所述架体上安装有加热器,所述加热器的内侧安装有工艺管,所述工艺管安装在加热器之间,且为非接触式固定安装,所述工艺管的管口处设置有工艺管密封法兰压紧工艺管密封圈,在管口的外侧设置有摆动炉门。本发明的有益效果是,与传统设备的根本区别就是将原有的普通进气管变更为本发明的带真空隔热功能的双层进气管,很好解决了进气管非常容易堵塞,需要经常更换进气管,严重影响机台工作时长,不用经常性更换进气管而带来的对产能的致命影响,也明显降低了设备维护时间,有效降低了成本和工作量,对于大生产价值明显,优势作用明显。

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扩散炉

外观设计有效专利
  • 申请号:CN201930668959.6
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2019-12-02
  • LOC分类号:15-99
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
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摘要:1.本外观设计产品的名称:扩散炉。2.本外观设计产品的用途:用于硅电(常压低压)扩散工艺。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位,省略仰视图;本外观设计产品的顶面为使用时不容易看到或看不到的部位,省略俯视图;本外观设计产品的背面为使用时不容易看到或看不到的部位,省略后视图。

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立式扩散炉

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201821951611.4
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2018-11-26
  • 主分类号:H01L21/67
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
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摘要:一种立式扩散炉,包括竖向设置的炉体,所述炉体的内腔中安装有隔板,所述隔板位于炉体的顶部,并将内腔分隔为位于其上方的扩散腔和位于其下方的工作腔;所述炉体底部设置有与工作腔相连通出气管,所述炉体上安装有进气管,所述进气管内端伸入到炉体内的扩散腔中;所述隔板为设置有连通孔的孔板。立式扩散炉的炉体竖向设置,高温的工艺气体先进入扩散腔中水平分散,再通过隔板上的连通口向下流动到工作腔中,对工作腔中的硅片进行掺杂处理。工艺气体由隔板阻挡,再扩散腔中水平分散,能够消除气体自身重力对气体扩散的影响,使气体在扩散腔中能够扩散均匀,从而使工艺气体均匀的通过隔板的连通孔,对硅片进行掺杂作业,提高硅片的加工质量。

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薄膜复合机

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201821428595.0
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2018-08-31
  • 主分类号:B32B37/12
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
委托购买

摘要:一种薄膜复合机,机架上安装有用于固定卷轴的安装轴、用于对从卷轴中抽出薄膜带状材料进行输送导向的导向轴、用于检测薄膜带状材料输送时张紧力的张力传感器以及用于将层叠的多条薄膜带状材料粘接合一的加热塑封装置;张力传感器设置的导轨位于角平分线上,使检测辊在角平分线上移动。薄膜复合机的张力传感器两侧均设置有导向辊,张力传感器的导轨位于两侧薄膜带状材料的角平分线上,使薄膜带状材料位置稳定,不会受到薄膜带状材料直径变化的影响,并且两侧薄膜带状材料作用到张力传感器上检测辊的合力方向与检测辊的微动方向重合,提高张力传感器检测的准确性,保证复合质量,防止薄膜带状材料扯断。

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快速固定箔带收集装置

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201620676720.4
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2016-06-30
  • 主分类号:B65H75/28
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
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摘要:一种快速固定箔带收集装置,包括收集辊,所述收集辊外壁轴向设置有固定槽,所述固定槽内安装有压条,所述压条的一侧与收集辊铰接,所述收集辊与压条之间安装有磁吸固定装置。快速固定箔带收集装置通过压条将箔带端部固定在固定槽中,然后旋转收集辊,可将箔带快速缠绕和收集,拆装容易,操作速度快,可在固定时对箔带位置角度进行调整,保证缠绕收集后能够卷成筒状,避免产生褶皱损坏箔带。

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石墨烯薄膜连续生长支撑结构

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201620680003.9
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2016-06-30
  • 主分类号:C23C16/26
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
委托购买

摘要:一种石墨烯薄膜连续生长支撑结构,包括安装在加热真空腔室中的导轨,所述导轨安装在加热真空腔室内壁相对设置的支承座之间,所述导轨与对应加热真空腔室内壁之间设置有流通间隙,所述支承座设置有流通通道,所述流通通道一端与流通间隙相连,另一端位于导轨下方。石墨烯薄膜连续生长支撑结构通过导轨支撑生长石墨烯的衬底材料,能够减轻衬底材料在移动过程中发生振动,保证其能够充分与反应气体接触,提高石墨烯的生长质量。导轨将加热真空腔室分割成上下两部分,通过流通间隙和流通通道,使上下两部分气流流通,热量能够充分流动,使整个加热真空腔室内的温度均匀,衬底材料受热均匀,保证石墨烯的生长质量。

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卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备

发明专利有效专利
  • 申请号:CN201610506736.5
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2016-06-30
  • 主分类号:C23C16/26
  • 公开(公告)日:2016-08-31
  • 公开/公告号:CN105908149A
委托购买

摘要:一种卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,包括置料真空腔室、加热真空腔室、和加热装置,所述置料真空腔室设置有两个,所述加热真空腔室位于加热装置内,两端伸出并与对应的置料真空腔室设置的连通口相连通,所述置料真空腔室内安装有置料辊和输送辅助装置,所述输送辅助装置位于对应置料辊内侧,并与连通口对齐,所述输送辅助装置为上下相对设置并且相互啮合的两个压辊。卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备将位于一端的置料真空腔室的铜箔通过加热真空腔室输送到另一端的置料真空腔室中,期间通过加热和反应气体,在铜箔上生长石墨烯薄膜,无须射频等离子体发生器,节能安全。输送辅助装置从两端将铜箔固定,使其不会受到对应置料辊上铜箔粗细的影响,使加热真空腔室内的铜箔始终保持水平,保证其与反应气体充分接触,提高石墨烯生产质量。

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卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备

实用新型无效专利
  • 申请号:CN201620680005.8
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2016-06-30
  • 主分类号:C23C16/26
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
申请同类专利

摘要:一种卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,包括置料真空腔室、加热真空腔室、和加热装置,所述置料真空腔室设置有两个,所述加热真空腔室位于加热装置内,两端伸出并与对应的置料真空腔室设置的连通口相连通,所述置料真空腔室内安装有置料辊和输送辅助装置,所述输送辅助装置位于对应置料辊内侧,并与连通口对齐,所述输送辅助装置为上下相对设置并且相互啮合的两个压辊。卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备将位于一端的置料真空腔室的铜箔通过加热真空腔室输送到另一端的置料真空腔室中,期间通过加热和反应气体,在铜箔上生长石墨烯薄膜,无须射频等离子体发生器,节能安全。输送辅助装置从两端将铜箔固定,使其不会受到对应置料辊上铜箔粗细的影响,使加热真空腔室内的铜箔始终保持水平,保证其与反应气体充分接触,提高石墨烯生产质量。

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一种真空过滤器

发明专利无效专利
  • 申请号:CN201610042222.9
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2016-01-22
  • 主分类号:暂无
  • 公开(公告)日:2016-04-20
  • 公开/公告号:CN105498380A
申请同类专利

摘要:一种真空过滤器,属于过滤领域,解决了真空工作系统中高温、含尘气体的冷却、除尘问题;本发明包括:腔体、匀流板和滤芯,其中腔体上设有与特定气体管路相连的进气口和与真空泵相连的出气口,腔体顶端设有与之密封连接的顶盖,腔体内在进气口处设置匀流板,滤芯安装在腔体内的中心,滤芯侧壁上设有过滤孔,滤芯底面设有通向腔体出气口的开口;从而避免高温、腐蚀性、及危害性粉尘颗粒对真空泵、上下游系统的破坏,解决了真空过滤系统中真空泵维护频率过于复杂、频繁的问题。从环保角度讲,可进一步冷却、净化管路内气体,减少空气污染。

著录信息权利要求说明书PDF全文法律状态引证文献

一种真空过滤器

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201620061908.8
  • 申请人:青岛赛瑞达电子科技有限公司
  • 申请日:2016-01-22
  • 主分类号:B01D46/00
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
委托购买

摘要:一种真空过滤器,属于过滤领域,解决了真空工作系统中高温、含尘气体的冷却、除尘问题;本实用新型包括:腔体、匀流板和滤芯,其中腔体上设有与特定气体管路相连的进气口和与真空泵相连的出气口,腔体顶端设有与之密封连接的顶盖,腔体内在进气口处设置匀流板,滤芯安装在腔体内的中心,滤芯侧壁上设有过滤孔,滤芯底面设有通向腔体出气口的开口;从而避免高温、腐蚀性、及危害性粉尘颗粒对真空泵、上下游系统的破坏,解决了真空过滤系统中真空泵维护频率过于复杂、频繁的问题。从环保角度讲,可进一步冷却、净化管路内气体,减少空气污染。

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