表面处理的方法和系统

专利类型:
发明专利(1)
专利有效性:
无效专利(1)
法律状态:
权利终止(1)
高级筛选:

路标网共为您找到相关结果1

公开(公告)时间
申请时间

表面处理的方法和系统

发明专利无效专利
  • 申请号:CN95118750.3
  • 申请人:株式会社日立制作所
  • 申请日:1995-11-03
  • 主分类号:暂无
  • 公开(公告)日:1996-10-02
  • 公开/公告号:CN1132407
申请同类专利

摘要:为了抑制由于电子遮蔽现象而引起的开槽、电荷聚集损伤、副沟和弯弓形,提供一种占空比等于或低于5%和重复频率等于或高于400KHz脉冲电压。因此,在衬底偏置中出现一个用于加速电子的周期,从而使电子遮蔽现象不出现。

著录信息权利要求说明书PDF全文法律状态引证文献
  • 1
前往
没找到想要的结果?为您推荐专业专利顾问检索  表面处理的方法和系统 专利,更快更准确
免费
我想查:已帮助11012419位用户进行查询

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供