摘要：本发明提供一种衍射光学元件及计测装置，该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域，具有：第1衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光；第2衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光，使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部，从上述第2衍射光学部产生衍射光，所述衍射光学元件的特征在于，上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1，产生的衍射光的光斑的数量为k1，上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2，产生的衍射光的光斑的数量为k2时，θ1≥θ2且k1≥k2，或者θ1≤θ2且k1≤k2，通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

摘要：本发明提供一种衍射光学元件及计测装置，该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域，具有：第1衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光；第2衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光，使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部，从上述第2衍射光学部产生衍射光，所述衍射光学元件的特征在于，上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1，产生的衍射光的光斑的数量为k1，上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2，产生的衍射光的光斑的数量为k2时，θ1≥θ2且k1≥k2，或者θ1≤θ2且k1≤k2，通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

摘要：本发明提供一种衍射光学元件及计测装置，该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域，具有：第1衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光；第2衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光，使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部，从上述第2衍射光学部产生衍射光，所述衍射光学元件的特征在于，上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1，产生的衍射光的光斑的数量为k1，上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2，产生的衍射光的光斑的数量为k2时，θ1≥θ2且k1≥k2，或者θ1≤θ2且k1≤k2，通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。