脉冲激光体纵波厚度测量系统

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脉冲激光体纵波厚度测量系统

发明专利无效专利
  • 申请号:CN201210501113.0
  • 申请人:中国航空综合技术研究所
  • 申请日:2012-11-29
  • 主分类号:G01B17/02
  • 公开(公告)日:2013-03-13
  • 公开/公告号:CN102967281A
申请同类专利

摘要:本发明属于测量技术,涉及一种厚度测量系统,特别是一种应用于金属材料或非金属材料厚度测量的脉冲激光体纵波测量系统。厚度测量系统将分光镜和凸透镜依次设置在同一光路上,光电二极管位于分光镜的反射光路上接收分光镜的反射光,光电二极管输出的电信号与电子计算机上的信号采集卡的一个接收端相连,信号采集卡的另一接收端与激光干涉仪输出端相连,脉冲激光器和激光干涉仪对心放置在被测样品两侧,被测样品放置在二维平移台上。本发明利用激光干涉仪探测超声体纵波,可以在线测量,也可用于高温环境;采用脉冲激光器和激光干涉仪对心放置,被测样品放置在二维电控平移台上的方式,实现了激光在被测样品表面的快速二维扫描。

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