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测量盲小孔与狭槽的三维测头和测量方法
发明专利有效专利摘要:测量盲小孔与狭槽的三维测头和测量方法。本发明属长度计量与测试技术领域,结构由三维位移测量单元组成,其导向元件为波纹管或膜片三维弹性体,其优点在于可测量大于Φ0.2mm的通孔或盲孔和狭槽任意截面尺寸和形状误差,被测小孔深径比大于30∶1,本发明测头可装在三坐标测量机上,当测头接触工件时,测杆变形并带动弹性体变形,用电容测微仪测头测出固定于三维弹性体上的金属平板竖向位移值,就可以对工件瞄准和测量,用电容测微仪示值计算可修正测杆变形误差。
*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供