摘要：本申请揭示了一种柔性电容式触觉传感器阵列，属于传感器技术领域，m行*n列个电容式触觉传感器，其中，m和n均为正整数；电容式触觉传感器制备在岛状结构上，相邻两个电容式触觉传感器之间通过桥状结构连接，桥状结构用于进行金属导线的加工，形成信号通道；岛状结构不可拉伸，桥状结构可拉伸；在阵列的每一行和每一列的末端引出引线端子，引线端子用于传感器信息的读取。通过可拉伸的桥状结构形成信号通道，解决电子线路对拉伸性的要求，利用不可拉伸的岛状结构解决传感器在拉伸过程中的性能退化问，一方面保证了阵列的拉伸性能，另一方面保护了电容式触觉传感器。

摘要：本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器，包括柔性电容单元以及与其电连接的信号处理电路电路板，所述柔性电容单元包括柔性绝缘介质层，其上、下表面分别开设与上导电电容极板层、下导电电容极板层的形状相吻合的凹槽，上导电电容极板层嵌入在柔性绝缘介质层的上表面开设的凹槽内，下导电电容极板层嵌入在柔性绝缘介质层的下表面开设的凹槽内。本发明还公开了一种柔性电容式触觉传感器的制备方法。本发明既能同时检测出三维力的大小，又具有良好的整体柔性，结构设计降低了三维力求解的难度，电容式传感器可满足实时检测的要求，并且其结构紧凑，整体性强，从而使其工作稳定，使用方便，适应性好，适用范围广。

摘要：本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器的制作方法，其特征在于所述柔性电容式触觉传感器的制作包括PDMS的中间层准备，柔性PI衬底的制备，金属敏感电极及其电连接的图形化，第一高弹性介电层PDMS和第二柔性介电层PI的形成，金属驱动电极及其电连接的图形化，最上层柔性绝缘保护层PI的图形化和柔性电容式触觉传感器的分离。本发明通过工艺的优化整合，实现了有机柔性材料PDMS及PI与传统MEMS工艺之间的兼容性。所制作的电容式触觉传感器结构轻薄，机械强度高，可挠性好，可贴附在任意曲率表面同时感受法向力和切向力的大小，同样适合由众多这种柔性电容式触觉传感器单元组成阵列的制造。

摘要：提供了一种柔性、电容式触觉传感器以及制造众多这种触觉传感器的方法。该电容式触觉传感器包含薄的、柔性、透明、绝缘的衬底。薄的、柔性、透明的电阻材料膜层被加到衬底的一面上，薄的、柔性、透明、压力敏感的粘附材料膜层被加到衬底的另一面上。可卸除薄片可以覆盖在该粘附层上。众多薄的、柔性的电极，电导线和导电区域被加到电阻层上。薄的、柔性、透明的保护材料膜层保护触觉传感器的灵敏接触区域。化合物可以添加到该保护层中以增强它的导电率和润滑性。对制造众多这种电容式触觉传感器的卷到卷过程同样进行了描述。