快速升降温装置及其温度控制方法
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快速升降温装置及其温度控制方法
发明专利有效专利- 申请号：CN201010512648.9
- 申请人：技鼎股份有限公司
- 申请日：2010-10-20
- 主分类号：G05D23/20
- 公开（公告）日：2012-05-16
- 公开/公告号：CN102455716A
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摘要：本发明公开了一种快速升降温装置及其温度控制方法，该装置包含加温单元、温度侦测单元、控制计算机、模拟输出单元、脉冲控制调变模块以及开关单元，藉由使用脉冲宽度调变方式，将现有的电热调整器取代为一结合电源供应器、波形转换电路及比较器的脉冲控制调变模块，而减少了系统的总体积、也不需分组控制，进而减少了噪声和干扰，而能够使腔体加热控制更精确，而使得提升各种快速加热对象，如晶圆、太阳能电池、光电芯片等的制程质量。
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