微机电传感器与制作方法
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微机电传感器与制作方法
发明专利无效专利- 申请号：CN200910007884.2
- 申请人：原相科技股份有限公司
- 申请日：2009-02-20
- 主分类号：B81C1/00
- 公开（公告）日：2010-08-25
- 公开/公告号：CN101811657A
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摘要：本发明涉及一种微机电传感器与制作方法。本发明的微机电传感器包含：部分挖空的基板；位于基板挖空部分上方的悬浮结构；以及与悬浮结构至少部分区隔开的上方结构，其中该悬浮结构与上方结构通过包含金属蚀刻的步骤而区隔开，且该悬浮结构包含金属层和包覆金属层的介电材料，该上方结构包含金属层和位于金属层下方的介电材料。
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