外观检测装置以及图象获得方法
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外观检测装置以及图象获得方法
发明专利有效专利- 申请号：CN200410039322.3
- 申请人：株式会社先机
- 申请日：2004-01-19
- 主分类号：G01B11/24
- 公开（公告）日：2004-08-04
- 公开/公告号：CN1517674
委托购买
摘要：本发明提供一种外观检测装置以及图象获得方法。照明单元(30)对于基板(1)每一条直线交替用侧方照明源产生的侧方光和狭缝照明源产生的狭缝光照射。补正值存储部(49)中保存分别对应于侧方照明源和狭缝照明源设定的阴影补正用的数字补正值。解析单元(46)利用所述数字补正值对图象数据进行阴影补正，能够获得高精度图像。
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