声表面波元件的制造方法和检查装置
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声表面波元件的制造方法和检查装置
发明专利无效专利- 申请号：CN01822260.9
- 申请人：株式会社东芝
- 申请日：2001-10-01
- 主分类号：H03H3/08
- 公开（公告）日：2004-04-07
- 公开/公告号：CN1488191
申请同类专利
摘要：一种检查装置，用于检查移动通信领域中用作高频滤波器的声表面波器件。该装置包含作为1次电子产生并投射电子束的电子枪(1)、将电子束汇聚在衬底(9)上的聚光镜(2)、检测由1次电子照射而从衬底(9)发射的2次电子的2次电子检测器(4)、支持衬底(9)的衬底支持件(5)，以及进行接地并且能接触金属膜(7)的接地机构(6)。接地机构(6)包含能与金属膜(7)接触的接触部(12)、一端装有接触部(12)的臂部(47)和装在臂部(47)上与接触部(12)相对的一端的旋转轴(48)。衬底(9)具有双层结构，包括钽酸锂(LiTaO3)制成的圆形压电衬底(8)和该衬底(8)上的铝金属膜(7)。
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