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三维测量仪

实用新型无效专利

申请号：CN03204788.6
申请人：台智精密科技股份有限公司
申请日：2003-02-26
主分类号：暂无
公开（公告）日：暂无
公开/公告号：暂无

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摘要：一种三维测量仪，在一机台上设有一平台，平台上架设有一可沿平台X轴移动的桥架，桥架上滑设有一沿平台Y轴移动的移动座，移动座中具有一沿平台Z轴移动的轴杆，且轴杆的底端具有一感测探针，而桥架的两侧分别向下延伸一支撑臂，以供与平台接触，各支撑臂与平台的接触面分别设有数个空气轴承，而桥架其中一支撑臂的数个空气轴承中，至少一空气轴承的一侧设有一预压弹性体，预压弹性体的一端抵撑于空气轴承相对平台的一侧，而另一端则抵撑于支撑臂内部，预压弹性体具有一设定的预压，以供维持一定的压力于空气轴承。

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