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一种原位碳包覆氟化碳材料的制备方法及其应用
发明专利有效专利摘要:本发明公开了一种原位碳包覆氟化碳材料的制备方法及其应用,包括如下步骤(1)将碳材料放置于反应容器中,将反应容器密闭后通入保护气体以完全置换其中的空气;(2)将上述反应容器的升温至400‑550℃,待温度稳定后,通入氟化气体对反应容器中的碳材料进行氟化6‑30h;(3)将上述反应容器调整到350‑450℃,通入非氟化气体,继续煅烧10‑120min后,自然冷却至室温,得到所述原位碳包覆氟化碳材料。本发明利用氟化碳材料在高温下可分解成固态碳和气态氟化烃的反应机制,将氟化碳材料在非氟化气体中进行高温煅烧,可以在氟化碳表面原位形成超薄的碳包覆层,实现对氟化碳材料的碳包覆。
一种高深宽比硅通孔的电子电镀芯片及制备方法
发明专利有效专利摘要:本发明涉及一种高深宽比硅通孔的电子电镀芯片及制备方法,方法包含以下步骤S1,在硅基底的表面涂覆光刻胶,通过光刻曝光后显影暴露孔位;S2,在硅基底暴露孔位的部分覆盖钝化层;S3,刻蚀所述钝化层的底面,暴露所述孔位的底面对应的硅基底;S4,对暴露所述孔位的底面对应的硅基底进行刻蚀;S5,循环多次步骤S2-S4,得到目标深度的硅通孔,清洗和灰化处理硅通孔残留的光刻胶和钝化物;S6,通过ALD沉积法在所述硅通孔的内壁沉积绝缘层、阻挡层、种子层,得到高深宽比的硅通孔。通过三脉冲工艺,循环进行钝化-刻蚀-刻蚀,解决修改工艺时刻蚀与钝化的平衡问题,并保证工艺的稳定性。最终选用ALD进行侧壁沉积工艺才能保证孔内侧壁具有足够的覆盖能力。
一种电化学合成2-乙基-6-羟基-2H-吡喃酮的方法
发明专利有效专利摘要:一种电化学合成2‑乙基‑6‑羟基‑2H‑吡喃酮的方法,在有机溶剂和水中,以乙基糠醇为原料,以卤化物作为催化剂,无机盐作为添加剂,在电解的条件下,对卤负离子进行氧化,通过Achmatowicz重排反应(ACHR)得到2‑乙基‑6‑羟基‑2H‑吡喃酮产物。本发明以电子代替传统的氧化剂,对环境友好,无有机副产物产生,且在温和的条件下进行,减少了能源消耗,具有良好的原子经济性,因此有利于工业化生产。
一种用于丙烷芳构化的核壳结构催化剂及其制备方法和应用
发明专利有效专利摘要:一种用于丙烷芳构化的核壳结构催化剂及其制备方法和应用,所述催化剂核层为ZSM‑5分子筛,壳层为Silicate‑1分子筛,Pt和助剂M金属元素被封装于壳层Silicate‑1分子筛内。以质量百分比计,壳层Silicate‑1分子筛的质量百分含量为30%~70%,金属Pt的质量百分含量为0.01%~3%,M金属元素的质量百分含量为0.01%~10%,余量为核层ZSM‑5分子筛。催化剂制备采用水热合成法,制备方式简单,可直接用于丙烷芳构化反应中,芳烃产物选择性可达70%,其中轻质芳烃占比可达80%以上。催化剂制备过程简单,成本低廉,催化性能具有良好的应用前景。
一株可摄食铜绿微囊藻和降解微囊藻毒素的鞭毛藻及应用
发明专利有效专利摘要:本发明公开了一株可摄食铜绿微囊藻和降解微囊藻毒素的鞭毛藻及应用,具体为Poteriospumella属鞭毛藻Poteriospumella lacustris NY1,是从福建省漳州市南靖县爆发水华的南一水库中分离、筛选得到。鞭毛藻NY1既能快速地摄食铜绿微囊藻,又能高效地降解微囊藻毒素,避免藻毒素释放到水体造成二次污染,并且在一定温度、光照和pH范围内作用效果稳定。鞭毛藻NY1治理有害蓝藻水华既避免了藻毒素释放到水体造成二次污染,又减少了对水生生态环境的干扰,因此,具有广阔的应用前景。
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