卧式喷射沉积制备大型环件装置
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卧式喷射沉积制备大型环件装置
实用新型无效专利- 申请号：CN200420035244.5
- 申请人：湖南大学
- 申请日：2004-03-05
- 主分类号：暂无
- 公开（公告）日：暂无
- 公开/公告号：暂无
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摘要：本实用新型公开了一种卧式喷射沉积制备大型环件装置，包括雾化室(17)及其水冷夹层(18)、机座(22)及由曲柄连杆机构(1)带动坩埚(21)和喷枪(20)运动的喷射雾化系统，其特征是：主轴(4)垂直设置在所述的雾化室(17)内，在所述的主轴(4)上端水平设有与喷射雾化系统对应的圆盘环形基体板(2)及加热电炉(3)，主轴驱动系统设置在主轴支撑系统上，主轴支撑系统设置在主轴升降系统上，所述的喷射雾化系统、主轴驱动系统和主轴升降系统均由智能控制。
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