路标网共为您找到相关结果1个
具有提高的分辨率的热通量传感器
发明专利有效专利摘要:一种热通量传感器,包括至少一个支撑部,其中至少一个薄膜(4)通过至少四个纳米线(12.1、12.2、14.1、14.2)相对于所述支撑部悬挂,所述薄膜(4)由至少一种导电材料制成,并且所述纳米线(12.1、12.2、14.1、14.2)由导电材料制成,其中两个纳米线(12.1、12.2)连接到电流源以形成所述薄膜(4)的两个端子之间的极化装置以及加热所述薄膜(4)的装置,并且其中两个纳米线(14.1、14.2)连接到电压计以形成用于测量所述薄膜(4)的端子处的电压的装置。
*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供