具有提高的分辨率的热通量传感器

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发明专利(1)
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具有提高的分辨率的热通量传感器

发明专利有效专利
  • 申请号:CN201310436123.5
  • 申请人:原子能和替代能源委员会
  • 申请日:2013-09-23
  • 主分类号:G01N25/18
  • 公开(公告)日:2014-03-26
  • 公开/公告号:CN103675015A
委托购买

摘要:一种热通量传感器,包括至少一个支撑部,其中至少一个薄膜(4)通过至少四个纳米线(12.1、12.2、14.1、14.2)相对于所述支撑部悬挂,所述薄膜(4)由至少一种导电材料制成,并且所述纳米线(12.1、12.2、14.1、14.2)由导电材料制成,其中两个纳米线(12.1、12.2)连接到电流源以形成所述薄膜(4)的两个端子之间的极化装置以及加热所述薄膜(4)的装置,并且其中两个纳米线(14.1、14.2)连接到电压计以形成用于测量所述薄膜(4)的端子处的电压的装置。

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