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具有壳体的半导体气体传感器和测量气体浓度的方法

发明专利无效专利

申请号：CN00806254.4
申请人：伊德斯德国股份有限公司
申请日：2000-04-11
主分类号：暂无
公开（公告）日：2002-05-01
公开/公告号：CN1347498

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摘要：用于测量例如CO、NOx、O3等的半导体－气体传感器有可以加热的传感元件(1)用于测量气体浓度,以及有壳体(2),在其内部空间(20)安装传感元件(1)。壳体(2)有第一个开口(3),这个开口将内部空间(20)与外部空间相连接。在壳体(2)内安排了一个或多个第二个开口4a,4b,这些低于第一个开口(3),则通过对流驱动气体流从第二个开口(4a,4b)到第一个开口(3)。半导体－气体传感器可以由硅用微工艺制成。

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