使用电子束处理柔性基板的设备及方法
专利
专利类型：
专利有效性：
法律状态：
高级筛选：
路标网共为您找到相关结果1个
公开(公告)时间
申请时间
使用电子束处理柔性基板的设备及方法
发明专利有效专利- 申请号：CN201480083186.X
- 申请人：应用材料公司
- 申请日：2014-11-07
- 主分类号：H01J37/077
- 公开（公告）日：2017-08-18
- 公开/公告号：CN107078008A
委托购买
摘要：根据本公开案，提供一种用于处理可移动的基板的带电粒子装置以及一种用于在处理系统中处理移动的基板的方法。带电粒子装置包括源以及束位移装置，源用于形成带电粒子束，以处理沿着运送方向移动的基板，束位移装置用于使带电粒子束从第一束轨迹沿着所述运送方向移动至至少第二束轨迹。
著录信息权利要求说明书PDF全文法律状态引证文献
- 1
没找到想要的结果？为您推荐专业专利顾问检索
使用电子束处理柔性基板的设备及方法 专利，更快更准确
免费
我想查:已帮助0位用户进行查询在售专利 早买早用
更多>*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供
- 热门业务
- 常用工具
- 规则与服务
- 商务合作
- 关于我们
- 服务热线路标网：023-88392937
快申报：023-88392959
工作日：9:00-12:00/13:30-18:00
商标进度查询
风险动态监测预警
北京聚集科技有限公司版权所有
Copyright @ CHATM ALL Right Reserve
免责声明：本网站部分内容由用户自行上传，如权利人发现存在误传其作品情形，请及时与本站联系删除：chatm@zbj.com
