传感器装置和用于分析过程室内混合气体的方法
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传感器装置和用于分析过程室内混合气体的方法
发明专利无效专利- 申请号：CN201510238801.6
- 申请人：西门子公司
- 申请日：2015-03-04
- 主分类号：G01N1/22
- 公开（公告）日：2015-10-14
- 公开/公告号：CN104977190A
申请同类专利
摘要：为了利用与过程室相距设置的气体传感器分析处于过程室内的气体，所要分析的气体必须产生从过程室向气体传感器的气流。气体传感器设置在一个通过供气管道与过程室连接的壳体内。壳体具有用于在壳体内产生气流的声波转换器。声波转换器在壳体内产生吸引力，使气体从过程室通过供气管道吸到壳体和气体传感器。
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