摘要：本发明公开了一种基于Zigbee光伏发电系统数据采集装置，包括若干个采集器和至少一个采集网关，若干个所述采集器分别与光伏发电系统的至少一个被检测设备相连并采集、发射所述被检测设备的电力数据；所述采集网关一端通过Zigbee无线网络与至少一个所述采集器相连并接收所述电力数据，另一端与电站监控服务器相连并将所述电力数据上传至所述电站监控服务器。与现有技术相比，本发明通过Zigbee无线网络方式实现分布式光伏电站监控，不但可解决大型以及类似于村庄分布式屋顶光伏电站的监控问题，且使用时无需拉埋跨路线缆，无数据流量费，实现电站的低成本、智能化管理。另，本发明还公开了一种基于Zigbee的光伏发电系统数据采集方法。

摘要：本发明公开一种旋转异形靶阴极机构，其靶管绕磁钢部件相对旋转，带动整个的靶材沿固定的磁场做持续旋转，因此，让所有的靶材表面都得到均匀的刻蚀，从而大大提高了阴极靶材的利用率，且靶材呈异形靶面结构，保证靶材的最终刻蚀厚度一致，进一步提高阴极靶材的利用率；由此延长了更换靶材的周期，提高了整条生产线连续溅射生产的产能；采用旋转阴极靶材设置，解决了平面阴极在连续镀膜中的掉渣及打弧问题，保持溅镀工艺稳定，提高镀膜质量；而磁钢部件相对于竖直方向偏离设置，使溅射到内壁的靶材较少，保持设备的高清洁度，且清洁维护简洁，且该旋转异形靶阴极机构的结构简单。本发明还公开一种具有旋转异形靶阴极机构的磁控溅射镀膜装置。

摘要：本实用新型公开一种铝带处理装置，包含第一直线驱动器、压紧件、旋转驱动器、第一和第二连接板、第二、三和四直线驱动器、托板及压板；第一直线驱动器装在机架上，压紧件装在第一直线驱动器的输出端上，旋转驱动器装在滑台上，第一连接板装在旋转驱动器的输出端上，第二直线驱动器连接于第一连接板上，第二连接板装在第二直线驱动器的输出端上，第三直线驱动器及第四直线驱动器装在第二连接板上，压板安装在第三直线驱动器及第四直线驱动器二者中的一者的输出端上，托板安装在第三直线驱动器及第四直线驱动器二者中的另一者的输出端上，且压板与托板相互配合而形成出一导引通道。本实用新型能摒弃基板上铝带之间在焊接后存在着虚焊及透焊的缺陷。

摘要：本实用新型公开了一种自动校正机构，包括铝带压紧机构及铝带校正机构。铝带压紧机构包含第一压紧直线驱动器及压紧件，铝带校正机构包含第一校正直线驱动器、第二校正直线驱动器、第一固定板、第一和第二校正件；第一压紧直线驱动器及第一校正直线驱动器均沿竖直方向装在机架上，压紧件连接于第一压紧直线驱动器的输出端，第一固定板连接于第一校正直线驱动器的输出端，第二校正直线驱动器沿水平面的前后方向装在第一固定板，第一校正件安装在第二校正直线驱动器的输出端，第二校正件对应地安装在第一固定板上，且第一校正件与第二校正件之间形成一供铝带校正用的校正区。本实用新型的自动校正机构能提高铝带校正效率及精度，并适合自动化的场合。

摘要：本发明公开了一种铝带折弯铺设装置，包含第一直线驱动器、压紧件、旋转驱动器、第一和第二连接板、第二、三和四直线驱动器、托板及压板；第一直线驱动器装在机架上，压紧件装在第一直线驱动器的输出端上，旋转驱动器装在滑台上，第一连接板装在旋转驱动器的输出端上，第二直线驱动器连接于第一连接板上，第二连接板装在第二直线驱动器的输出端上，第三直线驱动器及第四直线驱动器装在第二连接板上，压板安装在第三直线驱动器及第四直线驱动器二者中的一者的输出端上，托板安装在第三直线驱动器及第四直线驱动器二者中的另一者的输出端上，且压板与托板相互配合而形成出一导引通道。本发明能摒弃基板上铝带之间在焊接后存在着虚焊及透焊的缺陷。

摘要：本发明公开了一种铝带自动校正装置，包括铝带压紧机构及铝带校正机构。铝带压紧机构包含第一压紧直线驱动器及压紧件，铝带校正机构包含第一校正直线驱动器、第二校正直线驱动器、第一固定板、第一和第二校正件；第一压紧直线驱动器及第一校正直线驱动器均沿竖直方向装在机架上，压紧件连接于第一压紧直线驱动器的输出端，第一固定板连接于第一校正直线驱动器的输出端，第二校正直线驱动器沿水平面的前后方向装在第一固定板，第一校正件安装在第二校正直线驱动器的输出端，第二校正件对应地安装在第一固定板上，且第一校正件与第二校正件之间形成一供铝带校正用的校正区。本发明的铝带自动校正装置能提高铝带校正效率及精度，并适合自动化的场合。

摘要：本发明公开了一种扫描式磁控溅射阴极，设于真空腔体上并对真空腔体内的靶材进行磁控扫描，其中，本发明的扫描式磁控溅射阴极包括位于真空腔体外的磁性部件及驱动器，磁性部件与靶材相对应，驱动器驱使磁性部件在真空腔体外做平面的活动而对靶材进行平面的磁性扫描。本发明的扫描式磁控溅射阴极能提高靶材刻蚀区域的面积以提高靶材的利用率而降低镀膜成本。另，本发明还公开一种扫描式磁控溅射装置。

摘要：本实用新型公开了一种扫描阴极，设于真空腔体上并对真空腔体内的靶材进行磁控扫描，其中，本实用新型的扫描阴极包括位于真空腔体外的磁性部件及驱动器，磁性部件与靶材相对应，驱动器驱使磁性部件在真空腔体外做平面的活动而对靶材进行平面的磁性扫描。本实用新型的扫描阴极能提高靶材刻蚀区域的面积以提高靶材的利用率而降低镀膜成本。另，本实用新型还公开一种扫描溅射设备。

摘要：本发明公开一种电子轰击式蒸发源系统，其电子轰击式蒸发源包括坩埚机构、电子束发生机构、散射电子吸收极及离子收集极，坩埚机构上具有多个坩埚，散射电子吸收极设于坩埚的上方，电子束发生机构的上端开设有与坩埚相对应的出孔，离子收集极位于电子束发生机构的上方，电子束发生机构产生的电子束在电场及偏转磁场的作用下偏转270度后入射到坩埚内，形成e型轨迹，能有效防止散杂电子的干扰，且通过散射电子吸收极吸收激发出的有害的散射电子，通过离子收集极吸收游离出的正离子，有效保护膜层及基片；而多个坩埚的设置，加料周期长，有利于大规模生产，且其结构简单，操作简便，自动化程度高。

摘要：本实用新型公开一种电子束蒸发源装置，其蒸发源包括坩埚机构、电子束发生机构、散射电子吸收极及离子收集极，坩埚机构上具有多个坩埚，散射电子吸收极设于坩埚的上方，电子束发生机构的上端开设有与坩埚相对应的出孔，离子收集极位于电子束发生机构的上方，电子束发生机构产生的电子束在电场及偏转磁场的作用下偏转270度后入射到坩埚内，形成e型轨迹，能有效防止散杂电子的干扰，且通过散射电子吸收极吸收激发出的有害的散射电子，通过离子收集极吸收游离出的正离子，有效保护膜层及基片；而多个坩埚的设置，加料周期长，有利于大规模生产，且其结构简单，操作简便，自动化程度高。

摘要：本实用新型公开一种减少水平放置的玻璃基板变形的夹持装置，适用于对玻璃基板进行夹持，包括对称设置的夹持臂、固定基板、对位装置、转动轴及伺服电机，所述夹持臂包括相互垂直连接的横向长条手指及纵向长条手指，所述固定基板设置于所述夹持臂之间，所述固定基板两端向下延伸出压持脚，所述压持脚与所述横向长条手指之间形成一供所述玻璃基板容置的缝隙，所述对位装置与所述夹持臂连接并驱动所述夹持臂相互靠近，所述横向长条手指及纵向长条手指均安装于所述转动轴上，所述伺服电机驱动所述转动轴转动。本实用新型能降低玻璃基板因受重力而中间部位下垂变形的影响，达到使玻璃基板可加工状态，且降低生产成本。

摘要：本发明公开一种夹持装置，适用于对玻璃基板进行夹持，包括对称设置的夹持臂、固定基板、对位装置、转动轴及伺服电机，所述夹持臂包括相互垂直连接的横向长条手指及纵向长条手指，所述固定基板设置于所述夹持臂之间，所述固定基板两端向下延伸出压持脚，所述压持脚与所述横向长条手指之间形成一供所述玻璃基板容置的缝隙，所述对位装置与所述夹持臂连接并驱动所述夹持臂相互靠近，所述横向长条手指及纵向长条手指均安装于所述转动轴上，所述伺服电机驱动所述转动轴转动。本发明还公开一种减少水平放置的玻璃基板变形的方法。

摘要：本发明公开了一种侧向蒸镀用的立式蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，基板呈竖直的设置，而侧向蒸镀用的立式蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，中空结构形成一端贯穿蒸发舟本体一侧的密封空腔，密封空腔的开口与基板相对应，且密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，侧蒸发出口与基板相对应。本发明侧向蒸镀用的立式蒸发舟能确保大面积的基板的对位精度及提高该基板镀膜的均匀性。

摘要：本实用新型公开了一种蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，基板呈竖直的设置，而蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，中空结构形成一端贯穿蒸发舟本体一侧的密封空腔，密封空腔的开口与基板相对应，且密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，侧蒸发出口与基板相对应。本实用新型蒸发舟能确保大面积的基板的对位精度及提高该基板镀膜的均匀性。

摘要：本实用新型公开一种密封开关装置，包括阀体、纵向驱动机构、两对滑动座、一对阀板、密封圈、铰链座、弹簧、弹簧座、连杆及一对真空腔室；所述铰链座及弹簧座上下依次地套接固定于所述纵向驱动机构的输出端上，所述弹簧一端与所述弹簧座抵触，另一端与所述阀板的下端抵触；所述连杆一端与所述铰链座铰接，另一端与所述阀板铰接；所述滑动座分别设置于所述开口的两侧，且开设有凹陷，所述阀板滑动地安装于所述滑动座中；所述纵向驱动机构推动所述阀板上升到顶部时推动所述连杆，使所述阀板水平移动，从而使所述密封圈对所述真空腔室密封。本实用新型具有能正反向密封，密封性能好的优点。

摘要：本实用新型公开一种真空启闭机构包括阀体、纵向驱动机构、斜楔、一对阀板、一对真空腔室及一对滚子机构；所述纵向驱动机构输出端密封地伸入所述阀体内与所述斜楔连接；所述斜楔两侧面分别开设有第一燕尾槽；所述阀板对称地设置于所述斜楔的两侧，所述阀板的内侧面设有第二燕尾槽；所述第一燕尾槽与所述第二燕尾槽滑动配合，所述阀体两侧开设有相互连通的开口，所述真空腔室设置于所述阀体的两侧且分别与所述开口连通；其中一所述阀板开设有两侧相贯通的通气孔，所述阀板封闭所述开口时，所述通气孔与对应的所述开口连通，所述滚子机构可承载并引导所述阀板水平移动而封闭或打开所述开口。本实用新型具有能正反向密封，密封性能好的优点。

摘要：本实用新型公开了一种多单元分割设备，用于平板显示行业和太阳能电池板行业中的基片的分割，包括机架，工作台，X轴滑动机构、Y轴滑动机构、Z轴滑动机构、分割机构和CCD控制机构，所述Y轴滑动机构安装于机架上，所述工作台安装于Y轴滑动机构上，所述分割机构安装于Z轴滑动机构上，所述Z轴滑动机构安装于X轴滑动机构上，所述Y轴滑动机构带动工作台前后滑动，所述X轴滑动机构带动分割机构左右滑动，所述Z轴滑动机构带动分割机构上下滑动，所述分割机构用于分割基片，CCD控制机构用于基片的对位并控制所述X轴滑动机构、Y轴滑动机构、Z轴滑动机构和分割机构动作。本实用新型所述多单元分割设备不但可以进行全自动控制，而且基片定位准确，成品率高。

摘要：本发明公开一种双挡板真空闸阀装置，包括阀体、纵向驱动机构、两对滑动座、一对阀板、密封圈、铰链座、弹簧、弹簧座、连杆及一对真空腔室；所述铰链座及弹簧座上下依次地套接固定于所述纵向驱动机构的输出端上，所述弹簧一端与所述弹簧座抵触，另一端与所述阀板的下端抵触；所述连杆一端与所述铰链座铰接，另一端与所述阀板铰接；所述滑动座分别设置于所述开口的两侧，且开设有凹陷，所述阀板滑动地安装于所述滑动座中；所述纵向驱动机构推动所述阀板上升到顶部时推动所述连杆，使所述阀板水平移动，从而使所述密封圈对所述真空腔室密封。本发明具有能正反向密封，密封性能好的优点。

摘要：本发明公开了一种密封传动装置，包括驱动机构、联轴器、传动轴、传动齿轮及密封机构，密封机构密封地安装于密封腔体侧壁上，其上开设有连接孔及压缩空气入口，传动轴密封地穿设于连接孔内，且其一端安装有传动齿轮，另一端与联轴器的一端连接，联轴器的另一端与驱动机构的输出轴连接，驱动机构通过联轴器带动传动轴转动，传动轴带动传动齿轮转动从而将旋转运动密封地传输至液态环境，通过压缩空气入口将压缩空气压入连接孔内，使连接孔内保持高压环境，有效防止液体通过传动轴浸出到密封腔体之外，形成良好的动密封，密封机构密封地安装有效避免外部环境给密封腔体内带来的污染，使密封腔体保持良好的气密性及高清洁度，结构简单、成本低廉。

摘要：本实用新型公开了一种对有机发光显示器和太阳能电池板中的基片进行夹持的高强度高精度机械手，包括驱动器、底板及相互配合的第一夹紧件和第二夹紧件。第一和第二夹紧件均枢接于底板的一端并具有夹紧部和推动部，第一和第二夹紧件的夹紧部之间形成夹紧区，第一和第二夹紧件的推动部之间形成推动区，驱动器安装在底板的另一端，驱动器的输出端设置有与推动区相对应的推动件，驱动器通过驱使推动件伸入推动区内去顶推推动部沿张开的方向旋转，旋转的推动部带动夹紧部沿缩小夹紧区的方向旋转进而夹持该夹紧区内的基片。本实用新型高强度高精度机械手能克服现有的机械手存在制造难度大和制造成本高的缺陷，还具有结构紧凑、安装方便、维护容易的优点。