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一种DSOI应变计及其制作方法

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申请号：CN201510395248.7
申请人：新会康宇测控仪器仪表工程有限公司;上海旦宇传感器科技有限公司
申请日：2015-07-03
主分类号：G01B7/16
公开（公告）日：2015-11-25
公开/公告号：CN105091730A

委托购买

摘要：本发明公开了一种DSOI应变计及其制作方法，包括应变计，应变计包括衬底层和器件薄膜层，所述器件薄膜层设于衬底层上方且两者之间设有绝缘薄膜层隔离，器件薄膜层包括至少一个电阻敏感栅，每个电阻敏感栅由至少两条电阻条串接而成，衬底层底部设有与其相接的绝缘膜基底。该结构减少了电泄漏，提高了传感器的工作温度范围，同时衬底层底部的绝缘膜基底把整个应变计连成一片，既保证了电阻敏感栅中电阻条的相对位置不发生变化，减小全桥电路的失调电压，又防止了玻璃胶中的有害杂质直接与衬底层、弹性膜接触，提高了应变计与弹性膜之间的绝缘耐压性能。

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